半導(dǎo)體集成電路過濾器丨刻蝕設(shè)備氣體過濾器
半導(dǎo)體集成電路(IC)制造是高科技產(chǎn)業(yè)的核心,涉及光刻、刻蝕、沉積等多道工藝,均在高度潔凈的環(huán)境中進行。設(shè)備如光刻機和刻蝕機依賴超純氣體(如氮氣、氬氣)用于冷卻、吹掃或反應(yīng)氣體供應(yīng),以確保電路圖案的精確性和可靠性。任何氣體中的微粒污染都可能導(dǎo)致電路短路、缺陷或良率下降,因此氣體純度至關(guān)重要。半導(dǎo)體集成電路設(shè)備通常集成在閥歧管箱或氣柜中,要求氣體輸送系統(tǒng)緊湊、高效。
為什么使用過濾器
在半導(dǎo)體集成電路制造中,氣體管路輸送的氣體即使經(jīng)過初步凈化,仍可能攜帶亞微米級顆粒、水分或油霧。這些污染物會沉積在晶圓表面,引起器件故障。例如,在光刻環(huán)節(jié),氣體中的微粒可能遮擋紫外光,導(dǎo)致圖案失真;在刻蝕過程中,污染物可能干擾化學(xué)反應(yīng),造成過刻蝕或欠刻蝕。使用過濾器能有效攔截0.003μm以上的顆粒,將氣體雜質(zhì)含量降至5ppb以下,保障集成電路的微型化和高集成度需求。文檔指出,過濾器是超高純氣體系統(tǒng)的首選,可避免供應(yīng)鏈困擾和技術(shù)難題。
過濾器介紹
恒歌HENGKO的SF系列IGS面板專用過濾器專為半導(dǎo)體集成電路設(shè)備設(shè)計,兼容C型和W型密封規(guī)格,實現(xiàn)0.003μm級高效顆粒過濾。該過濾器采用全316L不銹鋼結(jié)構(gòu),支持高達100slpm的大流量,適用于集成氣體輸送與控制系統(tǒng)。其設(shè)計符合SEMI標(biāo)準(zhǔn),便于模塊化安裝,如用于閥歧管箱或氣柜的在線過濾。SF系列在潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試和包裝,確保9-LRV清潔度,助力客戶提高產(chǎn)品競爭力。
過濾器特點
●?結(jié)構(gòu)材料:整體316L不銹鋼電解拋光外殼,耐高溫、耐高壓、耐腐蝕,工作溫度范圍-28°C至+482°C,工作壓力可達414bar。
●?過濾性能:超高顆粒攔截效率,出口氣體各雜質(zhì)含量小于5ppb,通過100%完整性測試和氦氣檢漏測試。
●?設(shè)計優(yōu)勢:小型化緊湊結(jié)構(gòu),節(jié)省空間;采用機械密封,與介質(zhì)無焊接,安裝檢修便捷;優(yōu)異的氣體置換和解吸特性,減少壓損。
●?定制服務(wù):可提供OEM定制,按需求設(shè)計過濾精度和尺寸,如適配不同氣流速率。
●?技術(shù)參數(shù)顯示,其流量壓差曲線平滑,確保穩(wěn)定運行。外形尺寸多樣,支持靈活集成。
產(chǎn)品應(yīng)用
SF系列廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路制造環(huán)節(jié),如光刻設(shè)備的氣體吹掃系統(tǒng)、刻蝕設(shè)備的反應(yīng)氣體供應(yīng)線,以及晶圓廠的氣體分配歧管。在LED、光伏和MEMS設(shè)備中,它用于保護敏感組件,延長設(shè)備壽命。案例包括集成電路生產(chǎn)線的高純氮氣過濾,有效預(yù)防微粒污染,提高良率至99.99%以上。文檔指出,該過濾器是半導(dǎo)體行業(yè)實現(xiàn)超高純氣體的關(guān)鍵,助力科技未來發(fā)展。









