在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，“純凈” 是決定芯片良率的核心要素 —— 哪怕 0.001μm 的微粒污染，都可能導(dǎo)致整個(gè)晶圓批次報(bào)廢。作為半導(dǎo)體氣體輸送系統(tǒng)的 “守門人”，深圳市恒歌科技的微電子半導(dǎo)體過濾器系列，憑借全系列高規(guī)格設(shè)計(jì)與嚴(yán)苛工藝，成為超高純氣體過濾的可靠選擇。

恒歌科技深耕半導(dǎo)體過濾技術(shù)，旗下 BF、SF、MF、DF、HF、RF 六大系列產(chǎn)品，覆蓋從大宗氣體輸送到精密儀器保護(hù)、從低壓到高壓環(huán)境的全場(chǎng)景需求。以核心的 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)為例，這種材質(zhì)不僅具備耐高溫(最高 400℃)、耐高壓(最高 50Mpa)、耐腐蝕的特性，更能在高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境中保持結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，避免因材質(zhì)老化產(chǎn)生二次污染，從源頭保障氣體純凈度。

針對(duì)不同場(chǎng)景，產(chǎn)品設(shè)計(jì)各有側(cè)重：BF 系列大宗氣體專用過濾器采用多柱狀介質(zhì)設(shè)計(jì)，在高流通量下仍能保持低阻損，0.003μm 的過濾精度可攔截幾乎所有微米級(jí)及亞微米級(jí)顆粒，完美適配超高純工藝氣體在線過濾;SF 系列 IGS 面板專用過濾器則以緊湊體型融合高效過濾，支持 100slpm 大流量的同時(shí)，兼容多種密封規(guī)格，讓集成氣體輸送系統(tǒng)升級(jí)更便捷;MF 系列作為儀器 “守護(hù)者”，無需切割或焊接管道即可安裝，為 MFC 模塊、精密閥門等敏感設(shè)備筑起防污屏障。

從潔凈室制造到 100% 完整性測(cè)試、100% 氨氣檢漏測(cè)試，恒歌的每一款過濾器都經(jīng)過嚴(yán)苛檢驗(yàn)。這種對(duì) “純凈” 的極致追求，讓其產(chǎn)品不僅滿足 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)，更成為半導(dǎo)體制造中 “零污染” 目標(biāo)的堅(jiān)實(shí)后盾 —— 畢竟在芯片制程不斷突破的今天，可靠的過濾系統(tǒng)，本身就是良率提升的隱形保障。