在半導(dǎo)體制造的微觀世界里，電子特氣的純度直接決定著芯片的性能與良率。哪怕是百萬(wàn)分之一的雜質(zhì)顆粒，都可能導(dǎo)致電路短路或器件失效。作為氣體輸送系統(tǒng)的核心凈化設(shè)備，電子特氣精密過(guò)濾器的性能成為衡量半導(dǎo)體制造水平的關(guān)鍵指標(biāo)之一。深圳恒歌憑借多年在高純氣體處理領(lǐng)域的技術(shù)積累，推出的三大系列過(guò)濾器，以微米級(jí)的過(guò)濾精度與工業(yè)級(jí)的可靠性，為半導(dǎo)體、LED、光伏等高端制造領(lǐng)域筑起一道堅(jiān)實(shí)的潔凈防線。

HF 系列高壓氣體專用過(guò)濾器堪稱高壓環(huán)境下的 “凈化專家”。其采用整體 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)，這種材質(zhì)在抗腐蝕、耐高溫方面的表現(xiàn)尤為突出，能夠輕松應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體制造中常見(jiàn)的腐蝕性特氣。50MPa 的設(shè)計(jì)壓力使其可以適配高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)，在保證高強(qiáng)度的同時(shí)，相對(duì)較輕的重量和緊湊的結(jié)構(gòu)大大減少了安裝空間。螺紋連接的方式確保了整個(gè)過(guò)濾器的密封性，并且兼容 C 型和 W 型多種密封規(guī)格，滿足不同系統(tǒng)的連接需求。在過(guò)濾性能上，它能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳?xì)浠衔?，為后續(xù)制程提供潔凈的氣體源，從而保護(hù)系統(tǒng)免受污染，保障設(shè)備高效運(yùn)行。

OF 系列在線式專用氣體過(guò)濾器則是高流量場(chǎng)景下的理想選擇。專為高流量電子級(jí)氣體超純凈化設(shè)計(jì)，其過(guò)濾精度高達(dá) 0.003μm，能夠攔截極其微小的顆粒雜質(zhì)。全焊接 316L 不銹鋼外殼不僅保證了結(jié)構(gòu)的強(qiáng)度，還確保了與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容性，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。在大流量特種氣體供應(yīng)及超高純度氣棒中，它能穩(wěn)定發(fā)揮作用，為半導(dǎo)體、LED、光伏及 MEMS 設(shè)備連接提供超高純度過(guò)濾，滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求。同時(shí)，該系列過(guò)濾器還具備高流量、高強(qiáng)度、穩(wěn)定可靠的特點(diǎn)，可選其它點(diǎn)位在線安裝，方便快捷的安裝方式大大提高了系統(tǒng)集成的效率。

SF 系列 IGS 面板專用過(guò)濾器在集成化方面表現(xiàn)出色。用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)，它兼容 C 型和 W 型多種密封規(guī)格，實(shí)現(xiàn) 0.003μm 級(jí)高效顆粒過(guò)濾，保障 9-LRV 清潔度。支持高達(dá) 100slpm 的大流量，能夠助力設(shè)備升級(jí)無(wú)憂。全 316L 不銹鋼構(gòu)造使其堅(jiān)固耐用，緊湊體型融合全焊接與機(jī)械密封技術(shù)，在保證密封性的同時(shí)，也減少了安裝空間的占用。采用符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)的表面安裝元件，便于系統(tǒng)集成與模塊化設(shè)計(jì)升級(jí)，安裝維護(hù)便捷高效，為用戶節(jié)省了大量的時(shí)間和人力成本。

值得一提的是，深圳恒歌的這三大系列電子特氣精密過(guò)濾器都經(jīng)過(guò)了嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)。每一款產(chǎn)品都 100% 通過(guò)完整性測(cè)試和氨氣泄露檢測(cè)，確保在實(shí)際運(yùn)行中不會(huì)出現(xiàn)泄漏等問(wèn)題，為用戶提供了可靠的質(zhì)量保障。而且，濾芯可更換的設(shè)計(jì)使得維護(hù)更加簡(jiǎn)便，降低了設(shè)備的后期使用成本。

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展的今天，對(duì)電子特氣的純度要求越來(lái)越高，電子特氣精密過(guò)濾器的作用也愈發(fā)重要。深圳恒歌始終以技術(shù)創(chuàng)新為驅(qū)動(dòng)，不斷提升產(chǎn)品性能，為全球半導(dǎo)體制造企業(yè)提供高品質(zhì)的過(guò)濾解決方案，守護(hù)每一個(gè)精密制程的潔凈環(huán)境。